微电子类金属材料高效提纯

创建时间:  2021/08/31  赵炳戈   浏览次数:   返回

方向负责人:郑红星

研究背景

以5G通讯为代表的信息科学与技术的飞速发展使得半导体行业对原材料纯度的要求愈加苛刻。半导体原材料纯度的提高对其微电子学及光电子学性能往往会形成数量级提升,针对高纯材料的基础科学探索及应用技术发展一直以来都是相关产业技术研发的重中之重。本项目融合人工智能机器学习算法,发展出适用于Sn、In、Ga、P等低熔点类材料的垂直区熔高效提纯技术与方法。